薄膜热电偶动静态标定过程分析技术

添加时间：2023年7月5日 08:28

本成果对薄膜热电偶动静态标定过程中的科学问题进行研究，揭示了薄膜热电偶静态标定时塞贝克系数较低的原因，给出了有效提升薄膜热电偶静态塞贝克系数的方法。同时，揭示了薄膜热电偶动态标定时热电动势输出信号来源及震荡机理，给出了薄膜热电偶测试瞬态温度有效值的方法。 可在高精度表面加工、可控性薄膜制备过程中实现高空间分辨率的温度测试及高响应速度的瞬态温度测试，为实现高性能加工、高性能薄膜制备，提供理论及技术支持。